本标准规定了透射电镜(TEM)在很大放大倍率范围内所记录的图像的校准方法。用于校准的标准物质具有周期性结构,例如衍射光栅复型、半导体的超点阵结构或X射线分析的分光晶体以及碳、金或硅的晶体晶格像。
本标准适用于记录在照相胶片上或成像板上或数字相机内置传感器采集的 TEM图像的放大倍率。本标准也可用于校准标尺,但不适用于专用的临界尺寸测长透射电镜(CD-TEM)和扫描透射电镜(STEM)。
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本标准规定了透射电镜(TEM)在很大放大倍率范围内所记录的图像的校准方法。用于校准的标准物质具有周期性结构,例如衍射光栅复型、半导体的超点阵结构或X射线分析的分光晶体以及碳、金或硅的晶体晶格像。
本标准适用于记录在照相胶片上或成像板上或数字相机内置传感器采集的 TEM图像的放大倍率。本标准也可用于校准标尺,但不适用于专用的临界尺寸测长透射电镜(CD-TEM)和扫描透射电镜(STEM)。