本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
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内容摘要：
本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。